5 häufige Probleme mit Vakuumpumpen in der Halbleiterfertigung und wie man sie löst In der hochpräzisen Welt der Halbleiterfertigung sind Vakuumsysteme die heimlichen Helden. Sie schaffen und erhalten die makellosen Umgebungen, die für kritische Prozesse wie chemische Gasphasenabscheidung (CVD), Ätzen und Ionenimplantation erforderlich sind. Wenn eine Vakuumpumpe jedoch ausfällt oder eine unzureichende Leistung erbringt, führt dies nicht nur zu einer geringfügigen Verzögerung; Dies kann zu katastrophalen Ertragseinbußen, kostspieligen Werkzeugausfallzeiten und Kontaminationsereignissen führen, die ganze Produktionschargen gefährden. In diesem Leitfaden werden die fünf häufigsten – und kostspieligsten – Vakuumpumpenprobleme in Halbleiterfabriken (Fabs) beschrieben. Wir erforschen die Ursachen, bieten umsetzbare Lösungen und erklären, wie die Auswahl der richtigen Pumpentechnologie von Anfang an die effektivste Präventionsstrategie ist.
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